MCPD series 嵌入式膜厚測試型

本公司的MCPD series，由于采用柔軟纖維的事，從In-Situ到內(nèi)聯(lián)各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測量原理為分光干涉方式，在實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性的同時，還支持多層厚度測量。通過采用獨自算法，可以高速實時監(jiān)控。...

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品信息

特　點

●膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）

●最短曝光時間1ms~※根據(jù)規(guī)格

●由于是柔性纖維光學(xué)系統(tǒng)，容易組裝到半導(dǎo)體工藝裝置中

●可從上層遠(yuǎn)程控制

●最適合于研磨中膜厚終點檢測

基本配置

裝置組裝示意圖

測量案例

適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝

等等

仕様

MCPD-9800仕様